Влияние температуры процесса синтеза наноразмерных пленок LiFePO4 с использованием ALD-технологии

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Методом атомно-слоевого осаждения синтезированы наноразмерные пленки LiFePO4. Изучено влияние температуры на эффективность процесса осаждения тонких пленок LiFePO4. Сделан вывод о влиянии температуры на процесс атомно-слоевого осаждения и проведен синтез LiFePO4 в соответствии с оптимальным значением температуры.

Список литературы

  1. Maccario M., Croguennec L., Wattiaux A. C-containing LiFePO4 materials ‒ Part I: Mechano-chemical synthesis and structural characterization // Solid State Ionics. ‒ 2008. ̶ Vol. 179. ̶ pp. 2020‒2026.
  2. Liao X. Z., Ma Z. F., He Y. S. Electrochemical Behavior of LiFePO4∕C Cathode Material for Rechargeable Lithium Batteries // J. Electrochem. Soc. ‒ 2005. ̶ Vol. 152(10). ̶ pp. 1969‒1973.
  3. Mi C. H., Ca G. S., Zhao X. B. Low-cost, one-step process for synthesis of carbon-coated LiFePO4 cathode // Materials Letters. ‒ 2005. – Vol. 59. – pp. 127‒130.
  4. Камзин А. С., Бобыль А. В., Ершенко Е. М. Структура и электрохимические характеристики катодных материалов LiFePO4 для перезаряжаемых Li-ионных батарей // Физика твердого тела. ‒ 2013. – Т. 55, вып. 7. – С. 1288‒1297.
  5. Iglesia A. La. Estimating the thermodynamic properties of phosphate minerals at high and low temperature from the sum of constituent units // Estudios Geol. ‒ 2009. – Vol. 65. ̶pp. 109‒119.
  6. Schumacher M., Baumann P. K., Seidel T. AVD and ALD as two complementary technology solutions for next generation dielectric and conductive thin-film processing // Chem. Vap. Deposition. ‒ 2006. – Vol. 12. – pp. 99‒108.
  7. Майоров Э. Реализация нанотехнологии атомно-слоевого осаждения на оборудовании Beneq: компании от лаборатории к промышленности // Компоненты и технологии. ‒ 2013. – № 10. – С. 48‒53.
  8. Морозова А. А. Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок для наноэлектроники // Наноинженерия. ‒ 2012. – № 10. – С. 3‒6.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

Мы используем файлы cookies, сервис веб-аналитики Яндекс.Метрика для улучшения работы сайта и удобства его использования. Продолжая пользоваться сайтом, вы подтверждаете, что были об этом проинформированы и согласны с нашими правилами обработки персональных данных.

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».