The effect of temperature on synthesis of nanosized LiFePO4 films by ald technology
- Авторлар: Dolganov A.V., Lebedʼ E.G., Lyutova E.N., Chernyaeva O.Y., Yurova V.Y.
- Шығарылым: Том 5, № 16 (2017)
- Бөлім: Articles
- ##submission.dateSubmitted##: 17.04.2025
- ##submission.dateAccepted##: 17.04.2025
- URL: https://ogarev-online.ru/2311-2468/article/view/288160
- ID: 288160
Дәйексөз келтіру
Толық мәтін
Аннотация
Nanosized LiFePO4 films have been synthesized by atomic layer deposition method. The effect of temperature on the efficiency of the deposition of thin LiFePO4 films was studied. A conclusion was drawn on the effect of temperature on the atomic layer deposition process. The synthesis of LiFePO4 was carried out in accordance with the optimum temperature.
Авторлар туралы
A. Dolganov
Хат алмасуға жауапты Автор.
Email: ogarevonline@yandex.ru
E. Lebedʼ
Email: ogarevonline@yandex.ru
E. Lyutova
Email: ogarevonline@yandex.ru
O. Chernyaeva
Email: ogarevonline@yandex.ru
V. Yurova
Email: ogarevonline@yandex.ru
Әдебиет тізімі
- Maccario M., Croguennec L., Wattiaux A. C-containing materials ‒ Part I: Mechano-chemical synthesis and structural characterization // Solid State Ionics. ‒ 2008. ̶ Vol. 179. ̶ pp. 2020‒2026.
- Liao X. Z., Ma Z. F., He Y. S. Electrochemical Behavior of ∕C Cathode Material for Rechargeable Lithium Batteries // J. Electrochem. Soc. ‒ 2005. ̶ Vol. 152(10). ̶ pp. 1969‒1973.
- Mi C. H., Ca G. S., Zhao X. B. Low-cost, one-step process for synthesis of carbon-coated cathode // Materials Letters. ‒ 2005. – Vol. 59. – pp. 127‒130.
- Камзин А. С., Бобыль А. В., Ершенко Е. М. Структура и электрохимические характеристики катодных материалов для перезаряжаемых Li-ионных батарей // Физика твердого тела. ‒ 2013. – Т. 55, вып. 7. – С. 1288‒1297.
- Iglesia A. La. Estimating the thermodynamic properties of phosphate minerals at high and low temperature from the sum of constituent units // Estudios Geol. ‒ 2009. – Vol. 65. ̶pp. 109‒119.
- Schumacher M., Baumann P. K., Seidel T. AVD and ALD as two complementary technology solutions for next generation dielectric and conductive thin-film processing // Chem. Vap. Deposition. ‒ 2006. – Vol. 12. – pp. 99‒108.
- Майоров Э. Реализация нанотехнологии атомно-слоевого осаждения на оборудовании Beneq: компании от лаборатории к промышленности // Компоненты и технологии. ‒ 2013. – № 10. – С. 48‒53.
- Морозова А. А. Атомно-слоевое осаждение сверхтонких пленок для наноэлектроники // Наноинженерия. ‒ 2012. – № 10. – С. 3‒6.
Қосымша файлдар

