Отправить статью по E-mail 
Получение и исследование сегнетоэлектрических пленок La0.7Sr0.3MnO3
- Авторы: Лузанов В.А1, Белорусов Д.А1, Чучева Г.В1
-
Учреждения:
- Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
- Выпуск: Том 70, № 12 (2025)
- Страницы: 1225–1228
- Раздел: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
- URL: https://ogarev-online.ru/0033-8494/article/view/374161
- DOI: https://doi.org/10.7868/S3034590125120108
- ID: 374161
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Представлены результаты по созданию сегнетоэлектрических пленок La0.7Sr0.3MnO3 (LSMO) на подложках кремния. Методом магистрантного распыления с последующим отжигом получены ориентированные пленки LSMO. С помощью измерений вольт-фарадных (C–I) характеристик MДП-структур Ni-LSMO-Si установлено, что термическая обработка при 800 °C индуцирует в пленках LSMO сегнетоэлектрические свойства, проявляющиеся в пегле гистерезиса C–IV-характеристики с шириной 5 В и увеличении коэффициента переключения емкости более чем в 2 раза. Показана перспективность метода для интеграции сегнетоэлектрического LSMO в кремниевую технологию.
Ключевые слова
Об авторах
В. А Лузанов
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Email: valery@luzanov.ru
Фрязино, Российская Федерация
Д. А Белорусов
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАНФрязино, Российская Федерация
Г. В Чучева
Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАНФрязино, Российская Федерация
Список литературы
- Шайхулов Т.А., Станкевич К.Л., Лузанов В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 2023. Т. 49. № 12. С. 18.
- Annese E., Mori T.J.A., Schio P. et al. // J. Magn. Magn. Mater. 2020. V. 507. Article No. 166812.
- Гольдман Е.И., Ждан А.Г., Чучева Г.В. // ПТЭ. 1997. № 2. С. 110.
Дополнительные файлы
