Исследование ВУФ-излучения плазмы и структуры магнетронного разряда постоянного тока

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Представлены результаты исследований плазмы магнетронного разряда постоянного тока, полученные в рамках проекта РФФИ №18-29-27001. Методом PIC MC исследована структура магнетронного разряда при давлениях 1–10 мТорр при токе разряда 0.5 А. Показано, что прикатодная область, где падает почти всё напряжение разряда, состоит из тонкого катодного слоя (0.1–0.2 мм) и широкого предслоя (~2 см), в котором происходит бо´льшая часть ионизаций. Отношение напряжений, падающих в слое и предслое, линейно увеличивается с давлением. Зависимость напряжения разряда от давления газа имеет минимум около 3 мТорр. При давлениях 2–12 мТорр измерена интенсивность вакуумного УФ (ВУФ) излучения. На подложке, расположенной в 10 см от катода, она составляет порядка 1015 фотонов/(см2с) при скорости осаждения покрытия 1.5 нм/с. Интенсивность пропорциональна току разряда и уменьшается с давлением.

Об авторах

Александр Фридрихович Паль

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Автор, ответственный за переписку.
Email: apal@mics.msu.su
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Алексей Николаевич Рябинкин

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: alex.ryabinkin@gmail.com
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Александр Олегович Серов

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: aserov@mics.msu.su
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Дмитрий Викторович Лопаев

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: d.lopaev@gmail.com
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Юрий Александрович Манкелевич

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: ymankelevich@mics.msu.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Александр Турсунович Рахимов

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: arakhimov@mics.msu.ru

профессор

Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Татьяна Викторовна Рахимова

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: trakhimova@mics.msu.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Список литературы

  1. P. Kelly, R. Arnell Vacuum, 2000, 56(3), 159. doi: 10.1016/S0042-207X(99)00189-X.
  2. U. Helmersson, M. Lattemann, J. Bohlmark, A.P. Ehiasarian, J.T. Gudmundsson Thin Solid Films, 2006, 513(1–2), 1. doi: 10.1016/j.tsf.2006.03.033.
  3. A.F. Pal, A.N. Ryabinkin, A.O. Serov, D.V. Lopaev, Y.A. Mankelevich, A.T. Rakhimov, T.V. Rakhimova, M.R. Baklanov J. Phys. D. Appl. Phys., 2020, 53(29), 295202. doi: 10.1088/1361-6463/ab813f.
  4. J.W. Bradley, S. Thompson, Y.A. Gonzalvo Plasma Sources Sci. Technol., 2001, 10(3), 490. doi: 10.1088/0963-0252/10/3/314.
  5. O. Baranov, M. Romanov, M. Wolter, S. Kumar, X. Zhong, K. Ostrikov Phys. Plasmas, 2010, 17(5), 053509. doi: 10.1063/1.3431098.
  6. C. Huo, D. Lundin, M.A. Raadu, A. Anders, J.T. Gudmundsson, N. Brenning Plasma Sources Sci. Technol., 2013, 22(4), 045005. doi: 10.1088/0963-0252/22/4/045005.
  7. N. Brenning, J.T. Gudmundsson, D. Lundin, T. Minea, M.A. Raadu, U. Helmersson Plasma Sources Sci. Technol., 2016, 25(6), 065024. doi: 10.1088/0963-0252/25/6/065024.
  8. S. Kondo, K. Nanbu J. Vac. Sci. Technol. A Vacuum, Surfaces, Film., 2001, 19(3), 830. doi: 10.1116/1.1359534.
  9. I. Kolev, A. Bogaerts, R. Gijbels Phys. Rev. E., 2005, 72(5), 056402. doi: 10.1103/PhysRevE.72.056402.
  10. I. Kolev, A. Bogaerts IEEE Trans. Plasma Sci., 2006, 34(3), 886. doi: 10.1109/TPS.2006.875843.
  11. E. Bultinck, A. Bogaerts J. Phys. D. Appl. Phys., 2008, 41(20), 202007. doi: 10.1088/0022-3727/41/20/202007.
  12. A. Revel, T. Minea, C. Costin Plasma Sources Sci. Technol., 2018, 27(10), 105009. doi: 10.1088/1361-6595/aadebe.
  13. S. Uchida, S. Takashima, M. Hori, M. Fukasawa, K. Ohshima, K. Nagahata, T. Tatsumi J. Appl. Phys., 2008, 103(7), 073303. doi: 10.1063/1.2891787.
  14. H. Shi, H. Huang, J. Bao, J. Liu, P.S. Ho, Y. Zhou, J.T. Pender, M.D. Armacost, D. Kyser J. Vac. Sci. Technol. B, 2012, 30(1), 011206. doi: 10.1116/1.3671008.
  15. T.V. Rakhimova, A.T. Rakhimov, Y.A. Mankelevich, D.V. Lopaev, A.S. Kovalev, A.N. Vasileva, O.V. Proshina, O.V. Braginsky, S.M. Zyryanov, K. Kurchikov, N.N. Novikova, M.R. Baklanov Appl. Phys. Lett., 2013, 102(11), 111902. doi: 10.1063/1.4795792.
  16. T.V. Rakhimova, A.T. Rakhimov, Y.A. Mankelevich, D.V. Lopaev, A.S. Kovalev, A.N. Vasil’eva, S.M. Zyryanov, K. Kurchikov, O.V. Proshina, D.G. Voloshin, N.N. Novikova, M.B. Krishtab, M.R. Baklanov J. Phys. D. Appl. Phys., 2014, 47(2), 025102. doi: 10.1088/0022-3727/47/2/025102.
  17. A.N. Ryabinkin, A.O. Serov, A.F. Pal, Y.A. Mankelevich, A.T. Rakhimov, T.V. Rakhimova Plasma Sources Sci. Technol. IOP Publishing, 2021, 30(5), 055009. doi: 10.1088/1361-6595/abf31e.
  18. Y.A. Mankelevich, A.F. Pal, A.N. Ryabinkin, A.O. Serov J. Phys. Conf. Ser., 2018, 946(1), 012150. doi: 10.1088/1742-6596/946/1/012150.
  19. NIST Atomic Spectra Database (https://physics.nist.gov/asd). doi: 10.18434/T4W30F.
  20. S. Espinho, E. Felizardo, J. Henriques, E. Tatarova J. Appl. Phys., 2017, 121(15), 153303. doi: 10.1063/1.4981535.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Паль А.Ф., Рябинкин А.Н., Серов А.О., Лопаев Д.В., Манкелевич Ю.А., Рахимов А.Т., Рахимова Т.В., 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».