Отправить статью по E-mail Гибридные органосиликатные low-k-диэлектрики с бензольными мостиковыми группами с повышенной механической прочностью и малым размером пор для современной BEOL металлизации - PDF (Русский)
© Резванов А.А., Вишневский А.С., Серегин Д.С., Ломов А.А., Воротилов К.А., Бакланов М.Р., 2023