Автор туралы ақпарат

Fedorov, Yu. V.

Шығарылым Бөлім Атауы Файл
Том 50, № 8 (2016) Fabrication, Treatment, and Testing of Materials and Structures On a two-layer Si3N4/SiO2 dielectric mask for low-resistance ohmic contacts to AlGaN/GaN HEMTs