Отправить статью по E-mail Структурно-морфологические свойства контактов к подложке из монокремния ориентации (111) на основе алюминия с барьерным слоем Ti и W – 10 %Ti - PDF (Русский)
© Югорский государственный университет, 2022
Эта статья доступна по лицензии Creative Commons Attribution-ShareAlike 4.0 International License.