Исследование методов анизотропного плазмохимического травления low-k слоев с защитой пористой структуры материала

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

В статье обобщаются результаты исследования процессов криогенного плазменного травления диэлектриков с ультранизкой диэлектрической проницаемостью для применения в системах металлизации интегральных схем с проектной нормой менее 10 нм. Рассмотрены механизмы деградации пленок в процессе плазменного травления и исследуется подход, основанный на адсорбции в порах сконденсированного плазмообразующего газа. Приведены экспериментальные результаты, касающиеся разработки и применения методов контроля заполнения пор пленки in situ. Приведены результаты исследования параметров плазмы бромсодержащих газов (CF3Br и C2F4Br2) и характера деградации химического состава пленок после травления. Для сравнения эти же характеристики приведены для применявшейся ранее плазмы CF4.

Об авторах

Андрей Валерьевич Мяконьких

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: miakonkikh@ftian.ru
Россия, 117218, Россия, Москва, Нахимовский проспект, 34

Рафаэль Алексеевич Гайдукасов

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Email: gaydukasov.r@gmail.com
Россия, 117218, Россия, Москва, Нахимовский проспект, 34

Виталий Олегович Кузьменко

Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН

Email: kuzmenko@ftian.ru
Россия, 117218, Россия, Москва, Нахимовский проспект, 34

Список литературы

  1. W. Volksen, R.D. Miller, G. Dubois Chem. Rev., 2010, 110(1), 56. doi: 10.1021/cr9002819.
  2. D. Shamiryan, M.R. Baklanov, S. Vanhaelemeersch, K. Maex J. Vac. Sci. Technol. B, 2002, 20(5), 1923. doi: 10.1116/1.1502699.
  3. A. Rezvanov, A.V. Miakonkikh, A.S. Vishnevskiy, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov J. Vac. Sci. Technol. B, 2017, 35(2), 021204. doi: 10.1116/1.4975646.
  4. A. Zotovich, A. Rezvanov, R. Chanson, L. Zhang, N. Hacker, K. Kurchikov, S. Klimin, S.M. Zyryanov, D. Lopaev, E. Gornev, I. Clemente, A. Miakonkikh, K. Maslakov J. Phys. D, 2018, 51(32), 325202. doi: 10.1088/1361-6463/aad06d.
  5. A.A. Rezvanov, A.V. Miakonkikh, D.S. Seregin, A.S. Vishnevskiy, K.A. Vorotilov, K.V. Rudenko, M.R. Baklanov J. Vac. Sci. Technol. A, 2020, 38(3), 033005. doi: 10.1116/1.5143417.
  6. A. Miakonkikh, V. Kuzmenko, A. Efremov, K. Rudenko Vacuum, 2022, 200(5), 110991. doi: 10.1016/j.vacuum.2022.110991.
  7. H.G. Tompkins A User's Guide to Ellipsometry, USA, NY, New York, Academic Press, 1993, 260 pp. doi: 10.1016/C2009-0-22336-1.
  8. V. Rouessac, A. Lee, F. Bosc, J. Durand, A. Ayral Micropor. Mesopor. Mater., 2008, 111(1–3), 417. doi: 10.1016/j.micromeso.2007.08.033.
  9. T. Li, A.J. Senesi, B. Lee Chem. Rev., 2016, 116(18), 11128. doi: 10.1021/acs.chemrev.5b00690.
  10. D.W. Gidley, H.-G. Peng, R.S. Vallery Annu. Rev. Mater. Res., 2006, 36(1), 49. doi: 10.1146/annurev.matsci.36.111904.135144.
  11. А.А. Орлов, А.А. Резванов, А.В. Мяконьких Nanoindustry, 2020, 96(3s), 684. doi: 10.22184/1993-8578.2020.13.3s.684.687.
  12. S. Matsuo Appl. Phys. Lett., 1980, 36(9), 768. doi: 10.1063/1.91651.
  13. M. Engelhardt, S. Schwarz J. Electrochem. Soc., 1987, 134, 1985. doi: 10.1149/1.2100803.
  14. D.L. Flamm, P.L. Cowan, J.A. Golovchenko J. Vac. Sci. Tech., 1980, 17, 1341. doi: 10.1116/1.570667.
  15. D.V. Lopaev, Yu.A. Mankelevich, T.V. Rakhimova, A.I. Zotovich, S.M. Zyryanov, M.R. Baklanov J. Phys. D: Appl. Phys., 2017, 50, 485202. doi: 10.1088/1361-6463/aa92a7.
  16. S.V. Avtaeva, D.K. Otorbaev J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, 26, 2148. doi: 10.1088/0022-3727/26/12/009.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Мяконьких А.В., Гайдукасов Р.А., Кузьменко В.О., 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».