Основные аспекты формирования металлизации в субдесятинанометровой технологии изготовления интегральных схем

Обложка

Цитировать

Полный текст

Аннотация

Приведены основные результаты теоретического и экспериментального исследования параметров плазмы Ar/Cl2 и Ar/Cl2/О2 в реакторе атомно-слоевого травления, исследования травления пленок Мо, W, Ru в хлорсодержащей плазме с in situконтролем непрерывного процесса травления и циклического атомно-слоевого травления пленки W во фторсодержащей плазме. Результаты расчета концентрации ионов, полученных с использованием разработанной двумерной гидродинамической модели хлорсодержащей плазмы ВЧИ разряда находятся в хорошем согласии с экспериментальными данными. Обнаружено сильное увеличение скорости травления Мо, W в хлорсодержащей плазме с увеличением энергии ионов. Показано, что использование in situ рефлектометрического метода определения скорости травления дает возможность контролировать процесс травления на отдельных стадиях циклического атомно-слоевого травления металлов. Это способствует более быстрой его разработке. Кратко обсуждается механизм травления металлов в хлорсодержащей плазме.

Об авторах

Ильдар Искандерович Амиров

Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: ildamirov@yandex.ru
Россия, 150007, Россия, Москва, ул. Университетская, 21

Александр Николаевич Куприянов

Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН

Email: shurik7777@mail.ru
Россия, 150007, Россия, Москва, ул. Университетская, 21

Виктор Васильевич Наумов

Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН

Email: vvnau@rambler.ru
Россия, 150007, Россия, Москва, ул. Университетская, 21

Михаил Олегович Изюмов

Ярославский филиал Физико-технологического института им. К.А. Валиева РАН

Email: mikhail-izyumov@yandex.ru
Россия, 150007, Россия, Москва, ул. Университетская, 21

Дмитрий Григорьевич Волошин

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: dvoloshin@mics.msu.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Андрей Никитич Кропоткин

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: kropotkin.an14@physics.msu.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Дмитрий Викторович Лопаев

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: d.lopaev@gmail.com
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Татьяна Викторовна Рахимова

Научно-исследовательский институт ядерной физики им. Д.В. Скобельцына, МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: trakhimova@mics.msu.ru
Россия, 119991, Россия, Москва, ГСП-1, Ленинские горы, 1-2

Список литературы

  1. A.A Vyas., C. Zhou, C.Y. Yang IEEE T. Nanotechnol., 2018, 17(1), 4. doi: 10.1109/TNANO.2016.2635583.
  2. D. Gall J. Appl. Phys., 2016, 119(8), 085101. doi: 10.1063/1.4942216.
  3. A. Pacco, Y. Akanishi, Q.T. Le, E. Kesters, G. Murdoch, F. Holsteyns Microelectron. Eng., 2019, 217, 111131. doi: 10.1016/j.mee.2019.111131.
  4. K. Barmak, S. Ezzat, R. Gusley, A. Jog, S. Kerdsongpanya, A. Khaniya, E. Milosevic, W. Richardson, K. Sentosun, A. Zangiabadi, D. Gall, W.E. Kaden, E.R. Mucciolo, P.K. Schelling, A.C. West, K.R. Coffey J. Vac. Sci. Technol. A, 2020, 38(3), 033406. doi: 10.1116/6.0000018.
  5. S.S. Ezzat, P.D. Mani, A. Khaniya, W. Kaden, D. Gall, K. Barmak, K.R. Coffey J. Vac. Sci. Technol. A, 2019, 37(3), 031516-1. doi: 10.1116/1.5093494.
  6. S. Paolillo, D. Wan, F. Lazzarino, N. Rassoul, D. Piumi, Z. Tokei J. Vac. Sci. Technol. B, 2018, 36(3), 03E103. doi: 10.1116/1.5022283.
  7. L. Chen, S. Kumar, M. Yahagi, D. Ando, Y. Sutou, D. Gall, R. Sundararaman, J. Koike J. Appl. Phys., 2021, 129(3), 035301. doi: 10.1063/5.0026837.
  8. L. Jablonka, L. Riekehr, Z. Zhang, S.-L. Zhang, T. Kubart Appl. Phys. Lett., 2018, 112(4), 043103. doi: 10.1063/1.5011109.
  9. И.И. Амиров, Р.В. Селюков, В.В. Наумов, Е.С. Горлачев Микроэлектроника, 2021, 50(1), 3. doi: 10.31857/S0544126921010038.
  10. K.J. Kanarik, T. Lill, E.A. Hudson, S. Sriraman, S.S.H. Tan, J. Marks, V. Vahedi, R.A. Gottscho J. Vac. Sci. Technol. A, 2015, 33(2), 020802. doi: 10.1116/1.4913379.
  11. K.J. Kanarik, S. Tan, W. Yang, T. Kim, T. Lill, A. Kabansky, E.A. Hudson, T. Ohba, K. Nojiri, J. Yu, R. Wise, I.L. Berry, Y. Pan, J. Marks, R. A. Gottscho J. Vac. Sci. Technol. A, 2017, 35(5), 05C302-301. doi: 10.1116/1.4979019.
  12. Y. Lee, Y. Kim, J. Son, H. Chae J. Vac. Sci. Technol. A, 2022, 40(2), 022602. doi: 10.1116/6.0001603.
  13. A.N. Kropotkin, D.G. Voloshin Plasma Phys. Rep., 2019, 45, 786. doi: 10.1134/S1063780X19070055.
  14. C. Corr, E. Despiau-Pujo, P. Chaber, W.G. Graham, F.G. Marro, D.B. Graves J. Phys. D: Appl. Phys., 2008, 41(18), 185202. doi: 10.1088/0022-3727/41/18/185202.
  15. C. Hsu, M.A. Nierode, J.W. Coburn, D.B. Graves J. Phys. D: Appl. Phys, 2006, 39, 3272. doi: 10.1088/0022-3727/39/15/009.
  16. M. Bogdanova, D. Lopaev, T. Rakhimova, D. Voloshin, A. Zotovich, S. Zyryanov Plasma Sources Sci. Technol., 2021, 30(7), 075020. doi: 10.1088/1361-6595/abf71b.
  17. D. Voloshin, T. Rakhimova, A. Kropotkin, I. Amirov, M. Izyumov, D. Lopaev, A. Zotovich, S. Ziryanov Plasma Sources Sci. Technol., 2023, 32(4), 044001. doi: 10.1088/1361-6595/acc355.
  18. I.I. Amirov, M.O. Izyumov, V.V. Naumov, E.S. Gorlachev J. Phys. D: Appl. Phys., 2021, 54(6), 065204. doi: 10.1088/1361-6463/abc3ed.
  19. C.C. Hsu, J.W. Coburn, D.B. Graves J. Vac. Sci. Technol. A, 2006, 24, 1. doi: 10.1116/1.2121751.
  20. S. Decoster, E. Camerotto, G. Murdoch, S. Kundu, Q.T. Le, Z. Tőkei, G. Jurczak, F. Lazzarino J. Vac. Sci. Technol. B, 2022, 40(3), 032802. doi: 10.1116/6.0001791.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Амиров И.И., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Изюмов М.О., Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В., 2025

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».