Microturbines Formed with the Aid of Direct Laser Recording on Photoresist
- Авторы: Skidanov R.V.1,2, Moiseev O.Y.1,2, Ganchevskaya S.V.1,2
- 
							Учреждения: 
							- Institute of Image Processing Systems
- Korolev State Aerospace University
 
- Выпуск: Том 63, № 6 (2018)
- Страницы: 862-865
- Раздел: Optics
- URL: https://ogarev-online.ru/1063-7842/article/view/201532
- DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784218060208
- ID: 201532
Цитировать
Аннотация
A method for fabrication of mechanical elements (microturbines) that receive torque from vortex optical beams is proposed. Experimental results on fabrication of multiple microturbines are presented. Shapes of the microturbines are measured using an optical microscope, ZYGO white-light interferometer, and electron microscope.
Об авторах
R. Skidanov
Institute of Image Processing Systems; Korolev State Aerospace University
														Email: sofi@smr.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Samara, 443001; Samara, 443086						
O. Moiseev
Institute of Image Processing Systems; Korolev State Aerospace University
														Email: sofi@smr.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Samara, 443001; Samara, 443086						
S. Ganchevskaya
Institute of Image Processing Systems; Korolev State Aerospace University
							Автор, ответственный за переписку.
							Email: sofi@smr.ru
				                					                																			                												                	Россия, 							Samara, 443001; Samara, 443086						
Дополнительные файлы
 
				
			 
						 
						 
						 
					 
						 
									 
  
  
  
  
  Отправить статью по E-mail
			Отправить статью по E-mail  Открытый доступ
		                                Открытый доступ Доступ предоставлен
						Доступ предоставлен Только для подписчиков
		                                		                                        Только для подписчиков
		                                					