Optimization of Composition, Synthesis, and Study of Broadband Multilayer Mirrors for the EUV Spectral Range

M. M. Barysheva; S. A. Garakhin; S. Yu. Zuev; V. N. Polkovnikov; N. N. Salashchenko; M. V. Svechnikov; R. M. Smertin; N. I. Chkhalo; E. Meltchakov

doi:10.1134/S1063784219110045

Optimization of Composition, Synthesis, and Study of Broadband Multilayer Mirrors for the EUV Spectral Range

Авторы: Barysheva M.M.¹, Garakhin S.A.¹, Zuev S.Y.¹, Polkovnikov V.N.¹, Salashchenko N.N.¹, Svechnikov M.V.¹, Smertin R.M.¹, Chkhalo N.I.¹, Meltchakov E.²
Учреждения:
1. Institute for Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences
2. Laboratoire Charles Fabry, Institut d’Optique Graduate School
Выпуск: Том 64, № 11 (2019)
Страницы: 1673-1679
Раздел: Article
URL: https://ogarev-online.ru/1063-7842/article/view/204541
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063784219110045
ID: 204541

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ
Доступ закрыт

Доступ предоставлен
Доступ закрыт

Только для подписчиков

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

Broadband Mo/Si and Mo/Be multilayer stack-type mirrors for wavelength intervals of 11.1–13.8, 17–21, and 28–33 nm have been developed and fabricated. Uniform reflection of such structures can be implemented using few corrections of technological process.