Отправить статью по E-mail 
ОПТИМИЗАЦИЯ РАСХОДА ИСТОЧНИКА ИОНОВ
- Авторы: Канев С.В.1, Кожевников В.В.1, Хартов С.А.1
-
Учреждения:
- Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
- Выпуск: № 7 (2025)
- Страницы: 102–106
- Раздел: Статьи
- URL: https://ogarev-online.ru/1028-0960/article/view/376427
- DOI: https://doi.org/10.7868/S3034573125070147
- ID: 376427
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Электростатические источники ионов с различными способами возбуждения плазмы нашли широкое применение в производстве высокотехнологичных изделий, модификация поверхностей которых позволяет обеспечить заранее заданные свойства. Эти свойства в существенной мере зависят от параметров генерируемых ионных пучков, которые определяются соответствием ионно-оптической системы решаемой задаче, в частности, оптимальной конструкцией ионного источника в целом, включая параметры расхода рабочих тел. Решению проблемы оптимизации расхода источника ионов посвящена настоящая работа. Предложено рассмотреть интегральные параметры разряда высокочастотного источника ионов, работающего в составе вакуумной технологической установки. Такой подход позволяет не учитывать пространственные распределения параметров плазмы разряда и предложить простую модель для определения оптимального коэффициента рабочего тела источника. Показан пример расчета, позволяющего предварительно оценить параметры технологической установки.
Об авторах
С. В. Канев
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
Email: k208@mai.ru
Москва, Россия
В. В. Кожевников
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)Москва, Россия
С. А. Хартов
Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)Москва, Россия
Список литературы
- Adak D., Bhattacharyya R. // Nature-Inspired Self-Cleaning Surfaces in the Nanotechnology Era. IntechOpen, 2023. Р. 73 https://doi.org/10.5772/intechopen.112378
- Conrad J.R., Radtke J.L., Dodd R.A., Worzala F.J., Tran N.C. // J. Appl. Phys. 1987. V. 62. № 11. Р. 4591. http://doi.org/10.1063/1.339055
- Ягодкин Ю.Д., Дальский А.А., Шадрин О.А. // Материаловедение и термическая обработка металлов. 1992. № 4. С. 15.
- Ягодкин Ю.Д., Сулима А.М., Шулов В.А. // Металловедение и термическая обработка материалов. 1989. № 10. С. 38.
- Гусева М.И., Носков А.Н., Сулима А.М. //Авиационная промышленность. 1988. № 5. С. 65.
- Abourayana H.M., Dowling D.P. // Surface Energy. Ch. 5. Rijeka: IntechOpen, 2015. http://doi.org/10.5772/60927
- Азингареев В.В. // Решетневские чтения. 2014. Т. 1. № 18. С. 379.
- Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1986. 232 с.
- Абгарян В.К., Леб Х.В., Обухов В.А., Шкарбан И.И. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2012. № 8. С. 70. https://doi.org/10.31857/S1028096023050023
- Neumann H., Tartz M., Scholze F., Chasse T., Kersten H., Leiter H.J. // Contrib. Plasma Phys. 2007. V. 47. № 7. Р. 487. https://doi.org/10.1002/ctpp.20071006
- Виноградов М.И., Маишев Ю.П. Вакуумные процессы и оборудование ионно- и электронно-лучевой технологии. М.: Машиностроение, 1989. 56 с.
- Tsay M. Two-Dimensional Numerical Modeling of Radio-Frequency Ion Engine Discharge: Thesis D. Phil. Cambridge, Massachusetts. 2010. 109 p. https://dspace.mit.edu/handle/1721.1/62713
- Антропов Н.Н., Ахметжанов Р.В., Богатый А.В., Гришин Р.А., Кожевников В.В., Плохих А.П., Попов Г.А., Хартов С.А. // Изв. РАН. Энергетика. 2016. № 2. С. 4.
- Мельников А.В. Высокочастотный ионный двигатель с дополнительным постоянным магнитным полем: Дис. … канд. тех. наук: 05.07.05. М.: МАИ, 2019. 157 с. https://mai.ru/events/defence/?ELEMENT_ID=108054
- Нигматзянов В.В. Выбор параметров разрядной камеры высокочастотного ионного двигателя: Дис. … канд. тех. наук: 05.07.05. М.: МАИ, 2017. 142 с. https://mai.ru/events/defence/index.php?ELEMENT_ID=83933
Дополнительные файлы
