Отправить статью по E-mail 
МНОГОСЛОЙНЫЕ СТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ NiMo/C ДЛЯ ЗЕРКАЛ ГЕБЕЛЕВСКОГО ТИПА
- Авторы: Дуров К.В.1, Полковников В.Н.1, Чхало Н.И.1, Ахсахалян А.Д.1
-
Учреждения:
- Институт физики микроструктур РАН
- Выпуск: № 7 (2025)
- Страницы: 27–34
- Раздел: Статьи
- URL: https://ogarev-online.ru/1028-0960/article/view/376417
- DOI: https://doi.org/10.7868/S3034573125070045
- ID: 376417
Цитировать
Открытый доступ
Доступ предоставлен
Только для подписчиков
Аннотация
Впервые исследованы отражательные и структурные характеристики многослойной системы Ni(80)Mo(20)/C, перспективной для изготовления зеркал Гебеля и подавления линии излучения CuKβ (λ = 0.139 нм). Определено оптимальное соотношение материалов Ni(80)Mo(20) и C для достижения лучшей отражательной способности на длине волны λ = 0.154 нм (линия излучения CuKα1). Коэффициент отражения для периодов d = 41.5 и 33.5 Å составил R ≥ 69%. Показано положительное влияние вакуумного отжига структуры Ni(80)Mo(20)/C, которое заключалось в росте коэффициента отражения первого порядка. Повышение отражательной способности могло быть связано с уменьшением толщин переходных областей и “разуплотнением” слоев углерода, которое сопровождается увеличением толщины этих слоев и увеличением рентгенооптического контраста на границах. Было выяснено, что отжиг в вакууме многослойной структуры Ni(80)Mo(20)/C при температурах до 320°C существенно не повлиял на распределение локальных углов скольжения излучения по площади подложки.
Об авторах
К. В. Дуров
Институт физики микроструктур РАН
Email: zevs2801@mail.ru
филиал ФИЦ “Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН” Нижний Новгород, Россия
В. Н. Полковников
Институт физики микроструктур РАНфилиал ФИЦ “Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН” Нижний Новгород, Россия
Н. И. Чхало
Институт физики микроструктур РАНфилиал ФИЦ “Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН” Нижний Новгород, Россия
А. Д. Ахсахалян
Институт физики микроструктур РАНфилиал ФИЦ “Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН” Нижний Новгород, Россия
Список литературы
- Schuster M., Göbel H. // J. Phys. D. 1995. V. 28. № 4A. P. A270. https://doi.org/10.1088/0022-3727/28/4A/053
- Schuster M., Göbel H. // J. Phys. D. 1996. V. 29. № 6. P. 1677. https://doi.org/10.1088/0022-3727/29/6/039
- Michaelsen C., Wiesmann J., Hoffmann C., Wulf K., Brügemann L., Storm A. // Proc. SPIE. 2002. V. 4782. P. 143. https://doi.org/10.1117/12.469363
- Holz T., Dietsch R., Mai H., Brügemann L., // Materials Science Forum. 2000. V. 321-324. P. 179. https://doi.org/10.4028/www.scientif ic.net/MSF.321-324.179
- Ахсахалян А.Д., Володин Б.А., Клюенков Е.Б., Муравьев В.А., Салащенко Н.Н., Харитонов А.И., Шамов Е.А. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2000. № 1. С. 112.
- Akhsakhalyan A.D., Kluenkov E.B., Lopatin A.Ya., Luchin V.I., Nechay A.N., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Svechnikov M.V., Toropov M.N., Tsybin N.N., Chkhalo N.I., Shcherbakov A.V. // J. Surf. Invest.: X-ray, Synchrotron Neutron Tech. 2017. V. 11. № 1. P. 1. https://doi.org/10.1134/S1027451017010049
- Michaelsen C., Ricardo P., Anders D., Schuster M., Schilling J., Göbel H. // Advances in X-ray Analysis. 2000. V 42. P. 308.
- Windt D.L., Christensen F.E., Craig W.W., Hailey C., Harrison F.A., Jimenez-Garate M., Kalyanaraman R., Mao. P.H. // J. Appl. Phys. 2000. V. 88. № 1. P. 460. https://doi.org/10.1063/1.373681
- Reunov D.G., Akhsakhalyan A.A., Akhsakhalyan A.D., Chkhalo N.I., Shaposhnikov R.A., Drozdov Yu.N. // J. Appl. Crystallogr. 2024. V. 57. P. 925. https://doi.org/10.1107/S1600576724004126
- Andreev A.V., Michette A.G., Renwick A. // J. Modern Opt. 1988. V. 35. № 10. P. 1667.
- Kovalenko N.V., Mytnichenko S.V., Chernov V.A. // Journal of Experimental and Theoretical Physics. 2003. V. 97. № 6. P. 1201. https://doi.org/10.1134/1.1641902
- Henke B.L., Gullikson E.M., Davis J.C. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1993. V. 54. № 2. P. 181. https://doi.org/10.1006/adnd.1993.1013
- Дуров К.В., Полковников В.Н., Чхало Н.И., Ахсахалян А.А., Малышев И.В. // Журн. тех. физики. 2024. Т. 94. Вып. 8. С. 1280. http://journals.ioffe.ru/articles/viewPDF/58555
- Svechnikov M. // J. Appl. Crystallogr. 2024. V. 57. P. 848. https://doi.org/10.1107/S1600576724002231
- Takenaka H., Kawamura T., Kinoshita H. // Thin Solid Films. 1996. V. 288. P. 99. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(96)08837-2
- Cilia M., Verhoeven J. // J. Appl. Phys. 1997. V. 82. P. 4137. https://doi.org/10.1063/1.366213
- Borchers C., Ricardo P., Michaelsen C. // Philosophical Magazine A. 2000. V. 80. № 7. P. 1669. https://doi.org/10.1080/01418610008212143
- Kovacs-Mezei R., Krist Th., Revay Zs. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2008. V. 586. № 1. P. 51. https://doi.org/10.1016/j.nima.2007.11.034
- Kolevatov R., Schanzer C., Böni P. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2019. V. 922. P. 98. https://doi.org/10.1016/j.nima.2018.12.069
- Schebetov A. // Neutron News. 1998. V. 9. № 3. P. 35. https://doi.org/10.1080/10448639808233462
- Schebetov A., Kovalev A., Peskov B., Pleshanov N., Pusenkov V., Schubert-Bischoff P., Shmelev G., Soroko Z., Syromyatnikov V., Ul’yanov V., Zaitsev A. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 999. V. 432. № 2–3. P. 214. https://doi.org/10.1016/S0168-9002(99)00480-5
- Khan M.R., Felcher G.P., Schuller I.K. // Phys. Rev. B. 1986. V. 34. № 3. P. 1643. https://doi.org/10.1103/PhysRevB.34.1643
- Krawietz R., Wehner B., Meyer D., Richter K., Mai H., Dietsch R., Hopfe S., Scholz R., Pompe W. // Fresenius J Anal Chem. 1995. V. 353. P. 246. https://doi.org/10.1007/s0021653530246
Дополнительные файлы
