ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЕ МЕТОДИКИ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ ПРОТЯЖЕННЫХ ОБРАЗЦОВ

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Разработаны две интерференционные методики измерения профиля поверхности протяженных образцов длиной от 60 до 200 мм. Профиль восстанавливается путем склейки отдельных кадров, снятых с наложением друг на друга. Установлено, что угловая воспроизводимость восстановленного профиля в обеих методиках составляет менее 10 мкрад, что соответствует разности высот профилей порядка 10 нм. При измерениях поверхностей с радиусами кривизны R > 1 м рекомендуется использовать методику сшивки на высококогерентном интерферометре Zygo Verifire 4, обеспечивающую получение полной карты поверхности. Для поверхностей с радиусами кривизны R < 1 м пригодна только методика сшивки на интерферометре белого света SuperView W1. При особо важных измерениях целесообразно применять оба метода для достижения максимальной точности. Результаты исследования подтверждают эффективность предложенных подходов в области интерференционного метрологического контроля.

Об авторах

А. Д. Ахсахалян

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, Россия

М. С. Михайленко

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Email: mikhaylenko@ipmras.ru
Нижний Новгород, Россия

А. Е. Пестов

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, Россия

Е. В. Петраков

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, 603950 Россия

Е. И. Глушков

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, Россия

А. К. Чернышев

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, Россия

Н. И. Чхало

Институт физики микроструктур РАН — филиал Федерального исследовательского центра Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова РАН

Нижний Новгород, Россия

Список литературы

  1. Schuster M., Gobel H. // J. Phys. D. 1995. V. 28. № 4A. P. A270. http://doi.org/0.1088/0022-3727/28/4A/053
  2. Gobel H. // Abstracts ACA Annual 1 Meeting. Pittsburg. August 9–14, 1992. V. 20. P. 34.
  3. https://www.bruker.com/en.html
  4. https://www.malvernpanalytical.com/en
  5. Ахсахалян А.А., Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Муравьев В.А., Салащенко Н.Н., Харитонов А.И. // Изв. РАН. Сер. физ. 2005. Т. 69. № 2. С.174.
  6. Ахсахалян А.Д., Клюенков Е.Б., Лопатин А.Я., Лучин В.И., Нечай А.Н., Пестов А.Е., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Торопов М.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И., Щербаков А.В. // Поверхность. Рентгеновские., синхротр. и нейтрон. исслед. 2017. № 1. С. 5. http://doi.org/10.7868/S0207352817010048
  7. Mino L., Borfecchia E., Segura-Ruiz J., Giannini C., Martinez-Criado G., Lamberti C. // Rev. Modern Phys. 2018. V. 90. Iss. 2. P. 025007. http://doi.org/10.1103/RevModPhys.90.025007
  8. Samoylova L., Simi H., Siewert F., Mimura H., Yamauchi K., Tschentscher T. // Proc. SPIE. 2009. V. 7360. P. 73600E. http://doi.org/10.1117/12.822251
  9. Wang T., Huang L., Zhu Y., Giorgio S., Boccabella P., Bouet N., Idir M. // Nanomanuf. Metrol. 2023. V. 6. P. 20. http://doi.org/10.1007/s41871-023-00200-x
  10. Shurvinton R., Wang H. Pradhan P., Nistea I-T., Alcock S., Silva M., Majhia A., Sawhneya K. // J. Synchrotron Radiat. 2024. V. 31. P. 655. http://doi.org/10.1107/S1600577524002935
  11. Demmler M., Zeuner M., Allenstein F., Dunger T., Nestler M., Kiontke S. // Proc. SPIE. 2010. V. 7591. P. 203. http://doi.org/10.1117/12.840908
  12. Arnold T., Pietag F. // Precis. Eng. 2015. V. 41. P. 119. http://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2015.03.009
  13. Xie X., Zhou L., Dai Y., Li S. // Appl. Opt. 2011. V. 50. P. 5221. http://doi.org/10.1364/AO.50.005221
  14. Demmler M., Zeuner M., Luca A., Dunger T., Rost D., Kionike S., Kräger M. // Proc. SPIE. 2011. V. 7934. P. 793416. http://doi.org/10.1117/12.873787
  15. Van Eeckhout A., Sics I., Ribó L., Colldebran C., Nicolas J. // Proc. SPIE. 2023. V. 12576. P. 125760E. http://doi.org/10.1117/12.2665674
  16. https://gitlab.esrf.fr/moonpics_stitching_2018
  17. https://leaps-superflat.eu/pylost/
  18. Петраков Е.В., Чхало Н.И., Глушков Е.И., Чернышев А.К. Методы метрологии крупногабаритных рентгеновских зеркал в субнанометровом диапазоне // Тр. XXVIII Междунар. Симп. “Нанофизика и наноэлектроника”. Т. 1. Нижний Новгород, 15 марта 2024. С. 509.
  19. Wyant J.C. // Proc. SPIE. 2002. V. 4737. P. 98. http://doi.org/10.1117/12.474947
  20. Lehmann P., Tereschenko S., Xie W. // Surf. Topogr.: Metrol. Properties. 2016. V. 4. № 2. P. 024004. http://doi.org/10.1088/2051-672X/4/2/024004
  21. Vo Q., Fang F., Zhang X., Gao H. // Appl. Opt. 2017. V. 56. Iss. 29. P. 8174. http://doi.org/10.1364/AO.56.008174
  22. Ахсахалян А.А., Ахсахалян А.Д., Волгунов Д.Г., Зорина М.В., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2015. № 7. С. 93. http://doi.org/10.7868/S0207352815070033

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Институт физики твердого тела РАН, Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).