Determination of the Ion—Solid Interaction Potential from the Experiment and Its Influence on the Profiles of Implanted Particles

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

Based on the analysis of the angular distributions of particles passing through thin gold films, the parameters of the potential that best describes the experiment are obtained. The resulting potential differs from the potential describing collisions in the gaseous phase by a noticeable change in the screening constant. The influence of the collision energy, the choice of potential, and the model of electron bremsstrahlung on the depth distribution of implanted particles is analyzed.

About the authors

A. N. Zinoviev

Ioffe Institute of Physics and Technical Sciences

Author for correspondence.
Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

P. Yu. Babenko

Ioffe Institute of Physics and Technical Sciences

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

V. S. Mikhailov

Ioffe Institute of Physics and Technical Sciences

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

D. S. Tensin

Ioffe Institute of Physics and Technical Sciences

Email: zinoviev@inprof.ioffe.ru
Russian Federation, Saint Petersburg

References

  1. Moliere G. // Z. Naturforsch. A 1947. V. 2. P. 133. https://doi.org./10.1515/zna-1947-0302
  2. Ziegler J.F., Biersack J.P., Littmark U. The Stopping and Range of Ions in Solids, the Stopping and Range of Ions in Matter, V. 1. New York: Pergamon, 1985, 321p.
  3. Lenz W. // Z. Phys. 1932. V. 77. P. 713. https://doi.org./10.1007/BF01342150
  4. Jensen H. // Z. Phys. 1932. V. 77. P. 722. https://doi.org./10.1007/BF01342151
  5. Wilson W.D., Haggmark L.G., Biersack J.P. // Phys. Rev. B 1977. V. 15. P. 2458. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.15.2458
  6. Zinoviev A.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2011. V. 269. P. 829. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2010.11.074
  7. Zinoviev A.N., Nordlund K. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2017. V. 406. P. 511. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2017.03.047
  8. Meluzova D.S., Babenko P.Yu., Shergin A.P., Nordlund K., Zinoviev A.N. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2019. V. 460. P. 4. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2019.03.037
  9. Zinoviev A.N., Babenko P.Yu., Nordlund K. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2021. V. 508. P. 10. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2021.10.001
  10. Agrawal A., Mishra R., Ward L., Flores K.M., Windl W. // Modelling Simul. Mater. Sci. Eng. 2013. V. 21. P. 085001. https://doi.org./10.1088/0965-0393/21/8/085001
  11. Bjorkas C., Juslin N., Timko H., Vortler K., Nordlund K., Henriksson K., Erhart P. // J. Phys.: Condens. Matter 2009. V. 21. P. 445002. https://doi.org./10.1088/0953-8984/21/44/445002
  12. Marinica M-C., Ventelon L., Gilbert M.R., Proville L., Dudarev S.L., Marian J., Bencteux G., Willaime F. // J. Phys.: Condens. Matter 2013. V. 25. P. 395502. https://doi.org./10.1088/0953-8984/25/39/395502
  13. Bruckner B., Strapko T., Sortica M.A., Bauer P., Primetzhofer D. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., Sect. B 2020. V. 470. P. 21. https://doi.org./10.1016/j.nimb.2020.02.018
  14. Бабенко П.Ю., Мелузова Д.С., Солоницына А.П., Шергин А.П., Зиновьев А.Н. // ЖЭТФ 2019. Т. 155. С. 612. https://doi.org./10.1134/S0044451019040047
  15. Бабенко П.Ю., Зиновьев А.Н., Тенсин Д.С. // ЖТФ. 2022. Т. 92. С. 1643. https://doi.org./10.21883/JTF.2022.11.53436.151-22
  16. NDS – Database. https://www-nds.iaea.org
  17. Blume R., Eckstein W., Verbeek H. // Nucl. Instr. Meth. 1980. V. 168. P. 57. https://doi.org./10.1016/0029-554X(80)91231-8
  18. Morita K., Akimune H., Suita T. // J. Phys. Soc. Japan 1968. V. 25. P. 1525. https://doi.org./10.1143/JPSJ.25.1525
  19. Archubi C.D., Eckardt J.C., Lantschner G.H., Arista N.R. // Phys. Rev. A 2006. V. 73. P. 042901. https://doi.org./10.1103/PhysRevA.73.042901
  20. Valdes J.E., Martínez-Tamayo G., Lantschner G.H., Eckardt J.C., Arista N.R. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 1993. V. 73. P. 313. https://doi.org./10.1016/0168-583X(93)95744-P
  21. Markin S.N., Primetzhofer D., Prusa S., Brunmayr M., Kowarik G., Aumayr F., Bauer P. // Phys. Rev. B 2008. V. 78. P. 195122. https://doi.org./10.1103/PhysRevB.78.195122
  22. Fama M., Lantschner G.H., Eckardt J.C., Denton C.D., Arista N.R. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 2000. V. 164-165. P. 241. https://doi.org./10.1016/S0168-583X(99)01086-1
  23. Andersen H.H., Csete A., Ichioka T., Knudsen H., Moller S.P., Uggerhoj U.I. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 2002. V. 194. P. 217. https://doi.org./10.1016/S0168-583X(02)00692-4
  24. Зиновьев А.Н., Бабенко П.Ю. // ПЖЭТФ 2022. Т. 115. С. 603. https://doi.org./10.31857/S1234567822090105
  25. SRIM — The Stopping and Range of Ions in Matter — code. http://srim.org.
  26. Мелузова Д.С., Бабенко П.Ю., Шергин А.П., Зиновьев А.Н. // Поверхность 2019. В. 4. С. 74. https://doi.org./10.1134/S0207352819040127
  27. Бабенко П.Ю., Зиновьев А.Н., Михайлов В.С., Тенсин Д.С., Шергин А.П. // ПЖТФ. 2022. Т. 48. С. 10. https://doi.org./10.21883/PJTF.2022.14.52862.19231
  28. Firsov O.B. // Sov. Phys. JETP 1958. V. 7. P. 308.

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2024 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика»

1. Я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных»), осуществляя использование сайта https://journals.rcsi.science/ (далее – «Сайт»), подтверждая свою полную дееспособность даю согласие на обработку персональных данных с использованием средств автоматизации Оператору - федеральному государственному бюджетному учреждению «Российский центр научной информации» (РЦНИ), далее – «Оператор», расположенному по адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А, со следующими условиями.

2. Категории обрабатываемых данных: файлы «cookies» (куки-файлы). Файлы «cookie» – это небольшой текстовый файл, который веб-сервер может хранить в браузере Пользователя. Данные файлы веб-сервер загружает на устройство Пользователя при посещении им Сайта. При каждом следующем посещении Пользователем Сайта «cookie» файлы отправляются на Сайт Оператора. Данные файлы позволяют Сайту распознавать устройство Пользователя. Содержимое такого файла может как относиться, так и не относиться к персональным данным, в зависимости от того, содержит ли такой файл персональные данные или содержит обезличенные технические данные.

3. Цель обработки персональных данных: анализ пользовательской активности с помощью сервиса «Яндекс.Метрика».

4. Категории субъектов персональных данных: все Пользователи Сайта, которые дали согласие на обработку файлов «cookie».

5. Способы обработки: сбор, запись, систематизация, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение), извлечение, использование, передача (доступ, предоставление), блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

6. Срок обработки и хранения: до получения от Субъекта персональных данных требования о прекращении обработки/отзыва согласия.

7. Способ отзыва: заявление об отзыве в письменном виде путём его направления на адрес электронной почты Оператора: info@rcsi.science или путем письменного обращения по юридическому адресу: 119991, г. Москва, Ленинский просп., д.32А

8. Субъект персональных данных вправе запретить своему оборудованию прием этих данных или ограничить прием этих данных. При отказе от получения таких данных или при ограничении приема данных некоторые функции Сайта могут работать некорректно. Субъект персональных данных обязуется сам настроить свое оборудование таким способом, чтобы оно обеспечивало адекватный его желаниям режим работы и уровень защиты данных файлов «cookie», Оператор не предоставляет технологических и правовых консультаций на темы подобного характера.

9. Порядок уничтожения персональных данных при достижении цели их обработки или при наступлении иных законных оснований определяется Оператором в соответствии с законодательством Российской Федерации.

10. Я согласен/согласна квалифицировать в качестве своей простой электронной подписи под настоящим Согласием и под Политикой обработки персональных данных выполнение мною следующего действия на сайте: https://journals.rcsi.science/ нажатие мною на интерфейсе с текстом: «Сайт использует сервис «Яндекс.Метрика» (который использует файлы «cookie») на элемент с текстом «Принять и продолжить».