Формирование Zn-содержащих кластеров в имплантированной пленке Si3N4/Si - PDF (Русский)


© А.Н. Терещенко, В.В. Привезенцев, А.А. Фирсов, В.С. Куликаускас, В.В. Затекин, М.И. Воронова, 2023

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).