Параметры и состав плазмы в смеси CF 4  + H 2  + Ar: эффект соотношения CF 4 /H 2

Мяконьких А. В.; Кузьменко В. О.; Ефремов А. М.; Руденко К. В.

Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of CF₄ + H₂ + Ar: Effect of the CF₄/H₂ Ratio - PDF (俄语)

Согласие на обработку персональных данных

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).

TOP

用户名
密码
记住我

忘记您的密码?	注册

用户名
密码
记住我

忘记您的密码?	注册

卷 54, 编号 6 (2025)

卷 54, 编号 6 (2025)

Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of CF4 + H2 + Ar: Effect of the CF4/H2 Ratio - PDF (俄语)

Parameters and Composition of Plasma in a Mixture of CF₄ + H₂ + Ar: Effect of the CF₄/H₂ Ratio - PDF (俄语)