Mechanisms of the Redistribution of Carbon Contamination in Films Formed by Atomic Layer Deposition - PDF (Russian)


Copyright (c) 2023 А.В. Фадеев, А.В. Мяконьких, Е.А. Смирнова, С.Г. Симакин, К.В. Руденко

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).