Hydrogen Plasma under Conditions of Electron-Cyclotron Resonance in Microelectronics Technology - PDF (Russian)


Copyright (c) 2023 Е.А. Полушкин, С.В. Нефедьев, А.В. Ковальчук, О.А. Солтанович, С.Ю. Шаповал

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).