Email this article 
Production of ferroelectric hafnium oxide films by magnetron sputtering
- Authors: Luzanov V.A.1
-
Affiliations:
- Fryazino Branch Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS
- Issue: Vol 69, No 10 (2024)
- Pages: 1000-1003
- Section: НАНОЭЛЕКТРОНИКА
- URL: https://ogarev-online.ru/0033-8494/article/view/282459
- DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849424100106
- EDN: https://elibrary.ru/HPSBDR
- ID: 282459
Cite item
Full Text
Abstract
Hafnium oxide films containing a non-centrosymmetric orthorhombic phase capable of spontaneous polarization were obtained by magnetron sputtering. It was shown that the presence of bombardment with negative oxygen ions promotes the formation of the orthorhombic phase.
Keywords
About the authors
V. A. Luzanov
Fryazino Branch Kotelnikov Institute of Radioengineering and Electronics of RAS
Author for correspondence.
Email: valery@luzanov.ru
Russian Federation, Vvedenskii Squar. 1, Fryazino, Moscow Region, 141190
References
- Schenk T., Pešić1 M., Slesazeck S. et.al. // Reports on Progress in Physics. 2020. V. 83. № 8. P. 086501.
- Kim Min-Kyu, Kim Ik-Jyae, Lee Jang-Sik // Sci. Adv. 2021. V. 7. № 3. P. 1.
- Mikolajick T., Schroeder U., Slesazeck S. // IEEE Trans. 2020. V. ED-67. № 4. P. 1434.
- Park J. Y., Yang K., Lee D. H. et al. // J. Appl. Phys. 2020. V. 128. № 24. P. 240904.
- Mikolajick T., Slesazeck S., Park M. H., Schroeder U. // MRS Bull. 2018. V. 43. № 5. P. 340.
- Перевалов Т. В., Гриценко В. А., Гутаковский А. К., Просвирин И. П. // Письма в ЖЭТФ. 2019. Т. 109. № 2. С. 112.
- Горшков Д.В., Закиров, Е.Р., Сидоров Г.Ю. и др. // Изв. вузов. Физика. 2023. Т. 66. № 6. С. 111.
- Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. № 7. С. 131.
- Лузанов В.А. Магнетронное распылительное устройство. Патент РФ на изобретение № 2761900. Опубл. офиц. бюл. «Изобретения. Полезные модели». № 35 от 13.12. 2021.
- Лузанов В.А., Алексеев С.Г., Ползикова Н.И. // РЭ. 2018. Т. 63. № 9. С. 1015.
Supplementary files
