X-RAY DIAGNOSTICS OF MULTILAYER Ti/Ni MIRRORS WITH VARIOUS CONFIGURATIONS OF Si BUFFER INSERTS USING X-RAY REFLECTOMETRY AND STANDING X-RAY WAVES METHODS

Cover Page

Cite item

Full Text

Open Access Open Access
Restricted Access Access granted
Restricted Access Subscription Access

Abstract

This article investigates the periodic structure of Ni/Ti X-ray mirrors with different configurations of Si buffer layers using X-ray reflectometry and standing X-ray wave techniques. Depth profiles of electron density and the distributions of Ni and Ti elements within the films were obtained. Films with period structures of Ti/Ni, Ti/Si/Ni, Ti/Ni/Si, and Ti/Si/Ni/Si were examined. The results show that the structure featuring a Si buffer layer inserted both between layers within a period and between the periods themselves (Ti/Si/Ni/Si) is optimal as a mirror configuration in terms of reflectometry intensity.

About the authors

A. Yu Seregin

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Yu. A Volkovsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Email: irlandez08@yandex.ru
Moscow, Russia

P. A Prosekov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Y. D Kardeev

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

V. N Polkovnikov

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

R. M Smertin

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

Yu. V Pisarevsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

A. E Blagov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

References

  1. Schanzer C., Schneider M., Böni P. // J. Phys. Conf. Ser. 2016. V. 746. P. 012024. https://doi.org/10.1088/1742-6596/746/1/012024
  2. Senthil Kumar M., Böni P., Horisberger M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2004. V. 529. № 1–3. P. 90. https://doi.org/10.1016/j.nima.2004.04.184
  3. Ay M., Schanzer C., Wolff M., Stahn J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2006. V. 562. № 1. P. 389. https://doi.org/10.1016/j.nima.2006.02.188
  4. Smertin R., Antyushin E., Malyshev I. et al. // J. Appl. Cryst. 2024. V. 57. № 5. P. 1477. https://doi.org/10.1107/S1600576724007702
  5. Ковальчук М.В., Благов А.Е., Нарайкин О.С. и др. // Кристаллография. 2022. Т. 67. № 5. С. 726. https://doi.org/10.31857/S0023476122050071
  6. Гавриш Ю.Н., Филатов О.Г., Зуев Ю.В. и др. // Письма в журнал Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2024. Т. 21. № 3 (254). С. 257.
  7. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/tsentr-kollektivnogo-polzovaniya-sibirskiy-koltsevoy-istochnik-fotonov-tskp-skif-/
  8. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/mezhdunarodnyy-tsentr-neytronnykh-issledovaniy-na-baze-vysokopotochnogo-issledovatelskogo-reaktora-p/
  9. Fewster P.F. // Rep. Prog. Phys. 1996. V. 59. P. 1339. https://doi.org/10.1088/0034-4885/59/11/001
  10. Благов А.Е., Галиев Г.Б., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 2017. Т. 62. № 3. С. 355. https://doi.org/10.7868/S002347611703002X
  11. Волковский Ю.А., Серегин А.Ю., Фоломешкин М.С. и др. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 9. С. 40. https://doi.org/10.31857/S102809602109020X
  12. Zheludeva S.I., Kovalchuk M.V., Novikova N.N. et al. // J. Phys. D. 1993. V. 26. P. A206. https://doi.org/10.1088/0022-3727/26/4A/043
  13. Серегин А.Ю., Дьякова Ю.А., Якунин С.Н. и др. // Кристаллография. 2013. Т. 58. № 6. С. 937. https://doi.org/10.7868/s0023476113060210
  14. Фоломешкин М.С., Благов А.Е., Бойкова А.С. и др. // Кристаллография. 2023. Т. 68. № 1. С. 86. https://doi.org/10.31857/S0023476123010083
  15. Ковальчук М.В., Кон В.Г. // Успехи физ. наук. 1986. Т. 149. Вып. 1. С. 69. https://doi.org/10.3367/UFNr.0149.198605c.0069
  16. Zheludeva S.I., Lagomarsino S., Novikova N.N. et al. // Thin Solid Films. 1991. V. 193. P. 395. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(05)80049-5
  17. Бушуев В.А., Рощупкина О.Д. // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. № 1. С. 64.
  18. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. № 2. P. 359. https://doi.org/10.1103/PhysRev.95.359
  19. Кон В.Г., Просеков П.А., Серегин А.Ю. и др. // Кристаллография. 2019. Т. 64. № 1. С. 29. https://doi.org/10.1134/S0023476119010144

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2025 Russian Academy of Sciences

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).