X-RAY DIAGNOSTICS OF MULTILAYER Ti/Ni MIRRORS WITH VARIOUS CONFIGURATIONS OF Si BUFFER INSERTS USING X-RAY REFLECTOMETRY AND STANDING X-RAY WAVES METHODS

Capa

Citar

Texto integral

Acesso aberto Acesso aberto
Acesso é fechado Acesso está concedido
Acesso é fechado Somente assinantes

Resumo

This article investigates the periodic structure of Ni/Ti X-ray mirrors with different configurations of Si buffer layers using X-ray reflectometry and standing X-ray wave techniques. Depth profiles of electron density and the distributions of Ni and Ti elements within the films were obtained. Films with period structures of Ti/Ni, Ti/Si/Ni, Ti/Ni/Si, and Ti/Si/Ni/Si were examined. The results show that the structure featuring a Si buffer layer inserted both between layers within a period and between the periods themselves (Ti/Si/Ni/Si) is optimal as a mirror configuration in terms of reflectometry intensity.

Sobre autores

A. Seregin

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Yu. Volkovsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Email: irlandez08@yandex.ru
Moscow, Russia

P. Prosekov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Y. Kardeev

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

V. Polkovnikov

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

R. Smertin

Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences

Nizhny Novgorod, Russia

Yu. Pisarevsky

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

A. Blagov

National Research Centre "Kurchatov Institute"

Moscow, Russia

Bibliografia

  1. Schanzer C., Schneider M., Böni P. // J. Phys. Conf. Ser. 2016. V. 746. P. 012024. https://doi.org/10.1088/1742-6596/746/1/012024
  2. Senthil Kumar M., Böni P., Horisberger M. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2004. V. 529. № 1–3. P. 90. https://doi.org/10.1016/j.nima.2004.04.184
  3. Ay M., Schanzer C., Wolff M., Stahn J. // Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. A. 2006. V. 562. № 1. P. 389. https://doi.org/10.1016/j.nima.2006.02.188
  4. Smertin R., Antyushin E., Malyshev I. et al. // J. Appl. Cryst. 2024. V. 57. № 5. P. 1477. https://doi.org/10.1107/S1600576724007702
  5. Ковальчук М.В., Благов А.Е., Нарайкин О.С. и др. // Кристаллография. 2022. Т. 67. № 5. С. 726. https://doi.org/10.31857/S0023476122050071
  6. Гавриш Ю.Н., Филатов О.Г., Зуев Ю.В. и др. // Письма в журнал Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2024. Т. 21. № 3 (254). С. 257.
  7. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/tsentr-kollektivnogo-polzovaniya-sibirskiy-koltsevoy-istochnik-fotonov-tskp-skif-/
  8. https://ckp-rf.ru/catalog/megascience/mezhdunarodnyy-tsentr-neytronnykh-issledovaniy-na-baze-vysokopotochnogo-issledovatelskogo-reaktora-p/
  9. Fewster P.F. // Rep. Prog. Phys. 1996. V. 59. P. 1339. https://doi.org/10.1088/0034-4885/59/11/001
  10. Благов А.Е., Галиев Г.Б., Имамов Р.М. и др. // Кристаллография. 2017. Т. 62. № 3. С. 355. https://doi.org/10.7868/S002347611703002X
  11. Волковский Ю.А., Серегин А.Ю., Фоломешкин М.С. и др. // Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. 2021. № 9. С. 40. https://doi.org/10.31857/S102809602109020X
  12. Zheludeva S.I., Kovalchuk M.V., Novikova N.N. et al. // J. Phys. D. 1993. V. 26. P. A206. https://doi.org/10.1088/0022-3727/26/4A/043
  13. Серегин А.Ю., Дьякова Ю.А., Якунин С.Н. и др. // Кристаллография. 2013. Т. 58. № 6. С. 937. https://doi.org/10.7868/s0023476113060210
  14. Фоломешкин М.С., Благов А.Е., Бойкова А.С. и др. // Кристаллография. 2023. Т. 68. № 1. С. 86. https://doi.org/10.31857/S0023476123010083
  15. Ковальчук М.В., Кон В.Г. // Успехи физ. наук. 1986. Т. 149. Вып. 1. С. 69. https://doi.org/10.3367/UFNr.0149.198605c.0069
  16. Zheludeva S.I., Lagomarsino S., Novikova N.N. et al. // Thin Solid Films. 1991. V. 193. P. 395. https://doi.org/10.1016/S0040-6090(05)80049-5
  17. Бушуев В.А., Рощупкина О.Д. // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. № 1. С. 64.
  18. Parratt L.G. // Phys. Rev. 1954. V. 95. № 2. P. 359. https://doi.org/10.1103/PhysRev.95.359
  19. Кон В.Г., Просеков П.А., Серегин А.Ю. и др. // Кристаллография. 2019. Т. 64. № 1. С. 29. https://doi.org/10.1134/S0023476119010144

Arquivos suplementares

Arquivos suplementares
Ação
1. JATS XML
Baixar

Declaração de direitos autorais © Russian Academy of Sciences, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).