Отправить статью по E-mail Аннотация тематического блока
- Выпуск: Том 118, № 2 (2023): ТЕМАТИЧЕСКИЙ БЛОК: ФУНДАМЕНТАЛЬНЫЕ ПРОБЛЕМЫ МНОГОУРОВНЕВЫХ СИСТЕМ МЕТАЛЛИЗАЦИИ УЛЬТРАБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ
- Страницы: 9-12
- Раздел: Колонка тематического редактора
- URL: https://ogarev-online.ru/1605-8070/article/view/301034
- ID: 301034
Цитировать
Список литературы
Дополнительные файлы
